半導體芯片制造業(yè)在國民經(jīng)濟中起著舉足輕重的作用，相關企業(yè)的規(guī)模也越來越大，其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關系到產(chǎn)品質量和生產(chǎn)的順利進行。

• 集成電路芯片制造業(yè)屬于資金和技術高度密集的精密制造行業(yè)，其生產(chǎn)有著顯著的特點，生產(chǎn)過程要求環(huán)境潔凈度高，對溫度和濕度均有較為嚴苛的要求。
• 生產(chǎn)過程中大規(guī)模使用電子器件和集成電路且自動化程度比較高。
• 集成電路芯片制造關鍵設備多、工位器具多、工藝步驟繁多復雜。除供配電系統(tǒng)外，還需傳送系統(tǒng)、超純水凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣冷風冷系統(tǒng)、特殊氣體分配系統(tǒng)來保證生產(chǎn)過程的順利實施以及關鍵設備的安全運行。

由于整個工廠的生產(chǎn)條件***終通過電能供給來實現(xiàn)，因此半導體芯片制造對供電質量要求非常高。

半導體芯片制造生產(chǎn)存在的電能質量問題

一、諧波問題

IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的品圓機、或變頻控制的半導體機臺都會產(chǎn)生大量的諧波，它們不但會造成機臺設備自身的壞機現(xiàn)象，回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其它回路的發(fā)熱，電子開關誤動作、供電電壓不穩(wěn)，甚至引起生產(chǎn)線停線、半成品的報廢。

二、電壓暫降及中斷

半導體制造設備非常昂貴，不少設備價值高達幾百萬美元，對供電電壓波動非常敏感，毫秒級的電壓波動，足以使得半導體工廠的工藝設備發(fā)生停機從而中斷生產(chǎn)，造成巨大的經(jīng)濟損失。且芯片生產(chǎn)制造工藝步驟繁多，常規(guī)的動態(tài)存儲內存加工工藝需要 200 道以上工序，其中任何一步出錯都會直接影響產(chǎn)品的合格率，讓昂貴的芯片一文不值。

對電壓波動敏感的半導體工藝設備類型(幾乎囊括了所有半導體設備的類型)：刻蝕設備（干刻和濕刻）、膜擴散沉淀設備（化學氣相沉淀和物理氣相沉淀）、加熱設備、表面處理和洗凈設備、光刻設備（步進光刻機和軌道光刻機、掃描光刻機）、化學機械拋光設備、離子注入設備、測定設備、自動測試設備等。

國家發(fā)改委經(jīng)濟調節(jié)運行局曾委托亞洲電能質量產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟開展了電能質量經(jīng)濟性影響調查，經(jīng)過大量的調研與分析，都表明電壓暫降與短時中斷都是非常顯著的電能質量問題，且其中半導體行業(yè)因電能質量擾動帶來的生產(chǎn)損失巨大。

電壓暫降及中斷使半導體生產(chǎn)設備停機，從而造成的直接損失和間接損失包括

• 直接損失:半導體硅片損壞和浪費、設備壽命縮短甚至損壞、清理產(chǎn)線的人工成本等。
• 間接損失:重新啟動生產(chǎn)線需要的時間、降低產(chǎn)品品質、延誤交貨時間等。

每一次停機所造成的經(jīng)濟損失在半導體行業(yè)是以幾十萬、幾百萬甚至上千萬計算，所以電壓暫降問題已成為影響半導體制造廠非常重要的電能質量問題，加強對電壓暫降等電壓事件的監(jiān)測分析與治理具有十分重要的現(xiàn)實意義。

解決方案

電壓暫降問題給半導體行業(yè)帶來了嚴重危害，為此，東方博沃提供了一套完整的解決方案，具體如下：

應用案例

1、BW-DVR在成都某大型半導體廠家應用

2、BW-APF在西安西弈斯偉硅片項目的應用